Дифракционные решетки с блеском, получаемые на пластинах Si – первые результаты

С помощью прямой лазерной литографии и жидкостного травления полированных вицинальных пластин Si(111) разработана технология и изготовлены дифракционные решетки 500 mm$^{-1}$ с углом блеска 4$^\circ$. Процесс изготовления отражательной Si-решетки треугольного профиля (пилообразной) можно условно разделить на четыре основных стадии: (1) получение рисунка защитной маски для травления канавок; (2) анизотропное травление канавок в растворе КОН; (3) травление для сглаживания профиля решетки и полирования поверхности рабочих граней; (4) нанесение покрытия для увеличения отражательной способности. Полученные образцы охарактеризованы с помощью методов СЭМ и АСМ для определения формы профиля штрихов и шероховатости: форма оказалась близка к идеальной треугольной, а СКО шероховатости менее 0.3 nm. С помощью программы PCGrate$^{\operatorname{TM}}$ с учетом измеренного реального профиля штрихов проведено моделирование дифракционной эффективности решеток, работающих в классической и конической установках в МР и ЭУФ излучении. Полученные значения эффективности близки к рекордным для соответствующего спектрального диапазона и Au-покрытия решетки.