Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния

Описаны методы исследований и первые результаты, полученные при изучении шероховатости подложек из монокристаллического кремния (111), обработанных на финальной стадии различными способами: традиционная полировка без использования химико-механической полировки (ХМП), с использованием ХМП и без ХМП, но с применением нанопорошков окиси церия. Продемонстрирована эффективность использования нанопорошков CeO$_{2}$. Были получены следующие значения эффективной шероховатости: без ХМП – 3.56 nm, с ХМП – 0.54 nm и без ХМП, но с полировкой CeO$_{2}$ – 0.93 nm.