Аннотация:
Исследовано влияние кислорода и паров воды в распылительной камере в процессе осаждения тонкопленочных нанокомпозитов (Co$_{40}$Fe$_{40}$B$_{20}$)$_{x}$(LiNbO$_{3}$)$_{100-x}$ на электрические свойства гетерогенной системы. Установлено существенное увеличение удельного электрического сопротивления нанокомпозитов (Co$_{40}$Fe$_{40}$B$_{20}$)$_{x}$(LiNbO$_{3}$)$_{100-x}$ с увеличением парциального давления реактивных газов: кислорода и паров воды. Обнаружен существенный сдвиг порога протекания в плоскости и перпендикулярно пленке при синтезе композитов с добавлением реактивных газов в сторону больших значений металлической фазы, что связывается с увеличением объемной концентрации диэлектрической фазы. Выявлено, что порог протекания при измерении в перпендикулярной к плоскости пленки геометрии имеет существенно меньшую концентрацию атомов сплава Co$_{40}$Fe$_{40}$B$_{20}$, чем в случае измерений в плоскости пленки, что связано с вытянутой формой гранул в направлении роста пленки и эффектами подавления кулоновской блокады сильным поперечным электрическим полем.
Ключевые слова:электрическое сопротивление, порог протекания, анизотропия, кислород, пары воды.
Поступила в редакцию: 26.03.2021 Исправленный вариант: 21.04.2021 Принята в печать: 22.04.2021