Аннотация:
Исследованы микроструктура, состав, электрические и газочувствительные характеристики сенсоров на основе тонких нанокристаллических пленок SnO$_{2}$ с различными нанесенными на поверхность (Pt/Pd, Au) и введенными в объем (Au, Ni, Co) катализаторами в режимах постоянного и импульсного нагрева. Для изучения микроморфологии и дефектов структуры в зависимости от состава наноразмерных пленок использовали атомно-силовую микроскопию и лазерную рамановскую спектроскопию. Показано, что сенсоры с введенными в объем добавками Au и Co позволяют обнаруживать пары жидких углеводородов (на примере авиационного керосина) на уровне концентраций 5 ppm (0.1 предельно допустимой концентрации) и характеризуются повышенной стабильностью параметров в процессе испытаний при длительном воздействии паров, а также в условиях меняющейся влажности. Наибольшим быстродействием после испытаний отличаются сенсоры c добавками Au и Co в объеме и нанесенными на поверхность пленок сверхтонкими двухслойными катализаторами Pt/Pd.