Определение толщин в карбидкремниевых структурах методом частотного анализа спектра отражения

Разработана методика определения толщин после получения одно- и многослойных карбидкремниевых структур методом частотного анализа спектра инфракрасного отражения, на форму которого влияет спектральная интерференция в слоях и группах слоев. Анализ спектра выполнен в программном пакете LabView. Представлены результаты, полученные как для модельных структур, расчетный спектр отражения которых определялся с использованием диэлектрической функции, учитывавшей реакцию колебаний решетки и свободных носителей заряда, так и для экспериментальных спектров реальных многослойных структур приборов силовой электроники.