Влияние толщины гидрогенизированных углеродных пленок, легированных кремнием и кислородом, на свойства их поверхности

Получены гидрогенизированные углеродные пленки, легированные кремнием (11.9 $\pm$ 0.4 at.%) и кислородом (1.7 $\pm$ 0.1 at.%), толщиной 0.5–7 $\mu$m на подложках из титана марки ВТ6 и кремния в плазме несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом. Исследована зависимость твердости, внутренних напряжений, морфологии поверхности, смачиваемости, а также поверхностного потенциала полученных пленок от их толщины. Показано, что увеличение толщины пленки способствует повышению допустимой нагрузки на материал и его твердости. При этом пленки обладают низкими внутренними напряжениями (менее 600 MPa), а краевой угол смачивания с водой составляет 75–80$^\circ$. Установлено, что увеличение толщины пленки приводит к повышению отрицательного поверхностного потенциала от 50 до 670 mV.