Использование атомных пучков средних энергий для твердотельной PIXE-диагностики

Рассмотрены возможности использования ионных пучков средних (сотни keV) энергий для диагностики твердого тела методом измерения спектров характеристического рентгеновского излучения. Предложена модификация метода, состоящая в применении пучков нейтральных атомов в качестве зондирующих. Показано, что переход на такие пучки позволяет исключить негативное влияние эффектов, связанных с возникновением поверхностного потенциала, обусловленного накоплением заряда, при работе с диэлектрическими образцами.