Л. А. Фомин, И. В. Маликов, В. А. Березин, А. В. Черных, А. Б. Логинов, Б. А. Логинов, “Зондовая микроскопия и электронно-транспортные свойства тонких эпитаксиальных пленок Mo на сапфире”, ЖТФ, 2020, том 90, выпуск 11,страницы 1830

Эта публикация цитируется в 2 статьях

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Твердое тело

Зондовая микроскопия и электронно-транспортные свойства тонких эпитаксиальных пленок Mo на сапфире

Л. А. Фомин^a, И. В. Маликов^a, В. А. Березин^a, А. В. Черных^a, А. Б. Логинов^b, Б. А. Логинов^c

^a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
^b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
^c Национальный исследовательский университет "МИЭТ"

Аннотация: Проведены исследования поверхности и электронно-транспортных свойств эпитаксиальных тонких пленок молибдена. Экспериментальные результаты сравнивались c известными квантовыми моделями влияния рельефа поверхности пленок на их сопротивление.

Ключевые слова: эпитаксиальные пленки, тугоплавкие металлы, межсоединения, шероховатая поверхность, атомно-силовая микроскопия.

Поступила в редакцию: 01.04.2020
Исправленный вариант: 01.04.2020
Принята в печать: 01.04.2020

DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49970.110-20