С. А. Гарахин, М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михаленко, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar”, ЖТФ, 2020, том 90, выпуск 11,страницы 1864

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физика низкоразмерных структур

Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar

С. А. Гарахин, М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михаленко, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Описан метод увеличения эффективности голографических дифракционных решеток (ГДР), предназначенных для рентгеновского диапазона длин волн. Описана процедура обработки поверхности ГДР пучком ускоренных ионов с целью понижения амплитуды и шероховатости штрихов. Для понижения амплитуды штриха применялись ионы Xe с энергией 600 eV, для ионной полировки – ионы Ar с энергией 800 eV. Показано увеличение дифракционной эффективности решетки на длине волны 4.47 nm почти в 4 раза после ионной полировки.

Ключевые слова: дифракционная решетка, монохроматор Черни–Тернера, ЭУФ диапазон длин волн, ионная полировка поверхности, атомно-силовая микроскопия.

Поступила в редакцию: 13.04.2020
Исправленный вариант: 13.04.2020
Принята в печать: 13.04.2020

DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49976.130-20