В. Н. Полковников, С. А. Гарахин, Д. C. Квашенников, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, “Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона “окна прозрачности воды””, ЖТФ, 2020, том 90, выпуск 11,страницы 1893

Эта публикация цитируется в 14 статьях

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физика низкоразмерных структур

Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона “окна прозрачности воды”

В. Н. Полковников, С. А. Гарахин, Д. C. Квашенников, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Изучены свойства многослойных зеркал Cr/Sc, синтезированных при пониженном значении электрической мощности на магнетронном разряде. Найдены модельные структурные параметры таких зеркал. Получен рекордный коэффициент отражения 21% на длине волны 3.12 nm.

Ключевые слова: микроскопия, “водное окно”, многослойные зеркала, рентгеновское излучение, магнетронное напыление.

Поступила в редакцию: 22.04.2020
Исправленный вариант: 22.04.2020
Принята в печать: 22.04.2020

DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49980.143-20