Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей

Описаны методики прецизионной обработки поверхности оптических элементов пучками ускоренных ионов. Приведены характеристики и возможности оборудования, а также решаемые с помощью него задачи. Подробно описаны возможности финишной коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком, осесимметричной коррекции/асферизации широкоапертурным сильноточным ионным пучком и ионной полировки. Представлены значения эффективной шероховатости поверхности плавленого кварца, ситалла, Zerodur'а, ULE$\circledR$ в диапазоне пространственных частот $q\in$ [2.5 $\cdot$ 10$^{-2}$–6.0 $\cdot$ 10$^{1}$ $\mu$m$^{-1}$], а также примеры формирования сферической поверхности и профиля асферизации.