Измерения контактной жесткости в атомно-силовом микроскопе

Предложен способ повышения точности наномеханических измерений в атомно-силовом микроскопе. Для описания контактного взаимодействия кантилевера с образцом использована аналитическая модель, учитывающая: защемлен зонд кантилевера или скользит по поверхности образца, геометрические и механические характеристики образца и кантилевера, их взаимное расположение. В предположении скольжения разработан фильтр для корректировки сигналов контактной жесткости и деформации, измеряемых на образце с развитым рельефом. Применение фильтра проиллюстрировано на изображениях, полученных в атомно-силовом микроскопе с режимом визуализации на базе поточечной регистрации силового квазистатического взаимодействия зонда кантилевера с образцом.