Физико-технологические особенности процесса установки кристаллов на временный носитель в технологии внутреннего монтажа

Изучены физико-технологические особенности установки кристаллов на временный носитель в технологии внутреннего монтажа. Проведен обоснованный выбор материала из различных растворов полиамидокислот (ПАК) для фиксации кремниевых кристаллов активной стороной вниз на временный носитель. Установлена экспериментальная зависимость адгезионной прочности кремниевых кристаллов от времени жизни растворов ПАК. Показаны возможные дефекты, образующиеся при имидизации ПАК в процессе создания высокоинтегрированных микросборок, многокристальных модулей и электронных модулей уровня “система в корпусе”.