Аннотация:
Описан новый технологический подход для создания методом ионной имплантации наноструктурированных подложек для визуальной характеризации сверхмалых биологических объектов и микроорганизмов. При использовании имплантации ионами аргона покровных силикатных стекол через маски в виде проволочных медных сеток на их поверхности были сформированы периодические микроструктуры в виде решеток с размерами ячеек 50 $\times$ 50 $\mu$m. Апробация новых типов подложек была проведена на примере осажденных на них бактерий родов Bacillus и Staphylococcus методами сканирующей электронной микроскопии и энергодисперсионного анализа, а также атомно-силовой микроскопии.