Аннотация:
Проведено численное моделирование взаимодействия электромагнитных волн СВЧ диапазона с проводящими пленками нанометровой толщины в приближении однородной области и структурой, представленной микро- и наночастицами. С помощью метода связанных волн исследована динамика изменения оптических коэффициентов от значений, характерных для диэлектрика, к значениям однородной проводящей пленки, проведен анализ влияния размеров и распределения проводящих островков на электродинамические характеристики.
Ключевые слова:СВЧ, метод связанных волн, RCWA, металлодиэлектрические структуры, сверхтонкие пленки, модель Френеля–Эйри.
Поступила в редакцию: 22.11.2019 Исправленный вариант: 03.02.2020 Принята в печать: 20.03.2020