Исследование особенностей диффузии титана при формировании оптических волноводов в подложках из ниобата лития

Приводятся результаты исследований процесса диффузии титана в $Y$- и $Z$-срезах ниобата лития. Восстановление профилей осуществлялось методом решения волнового уравнения, а также методом вторичной ионной масс-спектроскопии. Путем исследования дифракции света на фазовой решетке, сформированной за счет диффузии титана, определены коэффициенты боковой диффузии титана в подложках из ниобата лития.