Структурные свойства углеродных пленок, полученных методом ионно-стимулированного импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота

Углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионно-стимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота, были исследованы при помощи КР-спектроскопии, электронной дифракции и РФЭС. Согласно полученным данным, азот эффективно встраивается в структуру материала, что приводит к формированию ориентированных графитовых нанокластеров, доля которых растет с увеличением энергии стимуляции.