RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2020, том 90, выпуск 1, страницы 149–154 (Mi jtf5422)

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Физическая электроника

Удельное электросопротивление тонких углеродных пленок с различной долей $sp$-связей

И. А. Завидовский, О. А. Стрелецкий, О. Ю. Нищак, А. А. Хайдаров, А. В. Павликов

Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова

Аннотация: Методом ионно-плазменного импульсно-дугового распыления графита в атмосфере метана были получены углеродные пленки с различной долей $sp$-связей. Данные спектроскопии комбинационного рассеяния света и просвечивающей электронной микроскопии свидетельствуют о том, что с ростом концентрации метана в рабочем объеме увеличивается содержание фазы, соответствующей углеродным цепочкам с $sp$-гибридизацией. Электросопротивление образцов хорошо коррелирует с долей $sp$-гибридизованного углерода в структуре исследуемых пленок.

Ключевые слова: $sp$-углерод, аморфный углерод, КР-спектроскопия, электронная дифракция, просвечивающая электронная микроскопия.

Поступила в редакцию: 31.12.2018
Исправленный вариант: 30.05.2019
Принята в печать: 30.05.2019

DOI: 10.21883/JTF.2020.01.48677.453-18


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2020, 65:1, 139–144

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024