Н. И. Чхало, М. В. Зорина, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Д. С. Казаков, A. В. Мильков, И. Л. Струля, “Бериллий как материал для термостойких рентгеновских зеркал”, ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 11,страницы 1686

Эта публикация цитируется в 6 статьях

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Бериллий как материал для термостойких рентгеновских зеркал

Н. И. Чхало^a, М. В. Зорина^a, И. В. Малышев^a, А. Е. Пестов^a, В. Н. Полковников^a, Н. Н. Салащенко^a, Д. С. Казаков^b, A. В. Мильков^b, И. Л. Струля^b

^a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^b Открытое акционерное общество "Композит", г. Королев, Московская обл.

Аннотация: Проведено сравнение теплофизических и механических характеристик бериллия с рядом наиболее перспективных материалов, применяемых для изготовления высокоточных зеркал, работающих в условиях сильных потоков электромагнитного излучения. Обсуждены достоинства бериллия и перспективы его применения для синхротронов 3-го и 4-го поколения. Сообщено о разработанной авторами методике получения сверхгладких поверхностей бериллиевых подложек и полученных предельных шероховатостях. Приведены данные по коэффициентам отражения на длине волны 13.5 nm многослойного Mo/Si-зеркала, нанесенного на его поверхность. Обсуждены перспективы повышения качества полировки бериллиевых подложек.

Ключевые слова: бериллий, синхротронное излучение, зеркало, рентгеновская оптика, шероховатость, поверхность, искажения формы.

Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019

DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48329.134-19