Влияние барьерных слоев бериллия на свойства многослойных зеркал Mo/Si

Приведены результаты исследований многослойных зеркал Mo/Si с межслоевыми прослойками B$_{4}$C и Be в окрестности длины волны 13.5 nm. Показано, что четырехкомпонентное многослойное зеркало типа Mo/Be/Si/B$_{4}$C по коэффициенту отражения превосходит на 2% зеркало Mo/Si и на 1.3% зеркало Mo/Si/B$_{4}$C. Также это зеркало обеспечивает наибольшую спектральную полосу пропускания на полувысоте ($\Delta\lambda_{1/2}$ = 0.535 nm). Дано объяснение этим эффектам.