Эта публикация цитируется в
1 статье
XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г. Формирование магнитных наноструктур с помощью зонда атомно-силового микроскопа А. Г. Темирязев a ,
М. П. Темирязева a ,
А. В. Здоровейщев b ,
О. В. Вихрова b ,
Ю. В. Никулин c ,
Ю. В. Хивинцев c ,
С. А. Никитов de a Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН b Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, г. Нижний Новгород c Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН d Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, г. Москва e Московский физико-технический институт, Московская облаcть, г. Долгопрудный Аннотация:
Представлены примеры использования метода импульсной силовой нанолитографии, выполняемой с помощью зонда атомно-силового микроскопа, для формирования магнитных нанопроводов, наноконтактов, одно- и двумерных решеток с характерными размерами порядка 50–100 nm.
Ключевые слова:
магнитные пленки, литография, наноструктуры, атомно-силовая микроскопия. Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019
DOI:
10.21883/JTF.2019.11.48349.120-19
© , 2024
Полный текст:
PDF файл (546 kB)
