RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 9, страницы 1412–1419 (Mi jtf5520)

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Физика низкоразмерных структур

Исследование контаминационной пленки, формирующейся под действием электронного пучка

К. Н. Орехова, Ю. М. Серов, П. А. Дементьев, Е. В. Иванова, В. А. Кравец, В. П. Усачева, М. В. Заморянская

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: При исследовании материалов на электронно-зондовых приборах в области действия электронного пучка формируется контаминационная углеводородная пленка, которая оказывает влияние на результаты экспериментов. В настоящей работе исследовано влияние контаминационной пленки, сформированной на диэлектрических образцах с углеродным напылением, на интенсивность катодолюминесценции и рентгеновских характеристических линий излучения. Определен коэффициент поглощения пленки для видимого и УФ диапазонов. Обсуждается механизм формирования пленки при различных параметрах электронного пучка.

Ключевые слова: контаминация, углеводородная пленка, РЭМ, катодолюминесцентный, рентгеноспектральный микроанализ.

Поступила в редакцию: 07.02.2019
Исправленный вариант: 19.03.2019
Принята в печать: 27.03.2019

DOI: 10.21883/JTF.2019.09.48068.43-19


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2019, 64:9, 1336–1342

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024