Электрические поля и характеристики двухэлектродных полупроводниковых систем с эллиптическими отверстиями

На основе аналитического расчета электрических полей развит двухэлектродный метод определения параметров полупроводниковых пластин, имеющих отверстие эллиптической формы, на границе которого располагаются электроды конечных размеров. Для таких условий изучено распределение тока в пластине. Установлена связь межэлектродного сопротивления с локальными свойствами полупроводника — электропроводностью и параметром Холла. Показано влияние геометрических параметров системы на ее интегральные характеристики.