RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 4, страницы 562–566 (Mi jtf5642)

Физическое материаловедение

Влияние водородной атмосферы на свойства пленки оксида алюминия на титане BT1-0

В. С. Сыпченко, Ван Цайлунь, Н. Н. Никитенков, Ю. И. Тюрин, Т. И. Сигфуссон, Е. С. Киселева

Национальный исследовательский Томский политехнический университет

Аннотация: Работа посвящена взаимодействию пленки оксида алюминия, нанесенной на технически чистый титан марки ВТ1-0 методом магнетронного реактивного напыления, с водородсодержащей атмосферой. Время выдержки данной системы в водородсодержащей атмосфере составляло 1–4 h при прочих неизменных параметрах. Получены данные по распределению водорода по глубине (толщине пленки) и его содержанию в тонкопленочной системе, выявлено влияние времени выдержки в водородной атмосфере на адгезию коэффициент трения пленки, определена поверхностная электропроводность и распределение водорода в пленке оксида алюминия.

Поступила в редакцию: 22.01.2018

DOI: 10.21883/JTF.2019.04.47312.36-18


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2019, 64:4, 518–522

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024