Влияние бомбардировки тяжелыми ионами высоких энергий на оптические свойства и дефекты в монокристаллах окиси цинка

Проведено изучение природы нарушений, создаваемых в монокристаллах окиси цинка в результате бомбардировки тяжелыми ионами (углерод, кислород) высоких энергий (около 100 МэВ). Изучались спектры фотолюминесценции и отражения имплантированных и неимплантированных областей монокристаллов. Показано, что внедрение примеси происходит на глубину ${\sim60}$ мкм без особых нарушений неимплантируемой матрицы кристалла. В области торможения внедряемых ионов обнаружено образование анионных и катионных вакансий, а также ассоциатов вида $(\text{Zn}^{+}_{i}V''_{\text{Zn}})'$. Изучен профиль имплантации.