Заселенность метастабильного состояния $A^3\Sigma_{u}$ молекулярного азота в условиях плазмохимического синтеза нитридов металлов

По интенсивности электронно-колебательных полос первой положительной системы проведен расчет абсолютной заселенности состояния $B^3\Pi_{g}$ молекулярного азота. На основе решения уравнения баланса проведен расчет абсолютной заселенности метастабильного состояния $A^3\Sigma_{u}$ молекул азота. Установлено, что заселенность метастабильного состояния молекулярного азота увеличивается с уменьшением давления и ростом силы тока тлеющего разряда. Представлены результаты определения заселенности состояния $A^3\Sigma_{u}$ молекул азота в условиях одновременного возбуждения тлеющего и вакуумно-дугового разрядов.