Исследование свойств сверхпроводящих туннельных структур при воздействии СВЧ излучения

Описаны технология получения, техника и результаты исследования сверхпроводящих туннельных структур ниобий–окисел–свинец при воздействии СВЧ излучения частотой 75 и 100 ГГц, Показано, что применяемые технологические методы — электронно-лучевая литография, ионный пучок для очистки пленок и термическое окисление — позволяет получать вольт-амперные характеристики с необходимыми параметрами.