Зондовый метод измерения коэффициента Бома, толщины зондового слоя объемного заряда и массы ионов

Предложено измерять коэффициент Бома, толщину зондового слоя объемного заряда и массу ионов в максвелловской плазме низкого давления на основе результатов стандартных зондовых измерений, используя эффект Бома, закон Больцмана и “закон 3/2” в случае их справедливости для изучаемой плазмы. Реализация данной возможности была обеспечена аккуратной зондовой диагностикой высокочастотной ксеноновой плазмы индукционного разряда при давлении 2 mTorr. Анализ полученных результатов показал справедливость указанных законов и эффекта Бома с “инженерной” точностью, что позволило найти коэффициент Бома $C_{\operatorname{BCyl}}\approx$ 1.23 для цилиндрического зонда, составивший основу предложенного метода.