Анализ нестационарных явлений в объеме реактора в процессе выращивания Al$-$Ga$-$As структур с резкими гетеропереходами МОС гидридным методом

Анализируется влияние режимов подачи компонент парогазовой смеси (ПГС), степени их перемешивания, а также возможного различия коэффициентов диффузии компонент ПГС на процесс формирования резких гетеропереходов (ГП) GaAs$-$Al$_{x}$Ga$_{1-x}$As. Получены теоретические зависимости, связывающие основные технологические параметры процесса с величиной размытия ГП. Результаты расчета сопоставляются с экспериментом.