Улучшения качества лазерного скрайбирования прозрачного проводящего оксида при изготовлении тонкопленочного солнечного модуля

Неоднородность толщины фронтального прозрачного проводящего оксида (ППО) при изготовлении тонкопленочного солнечного модуля (ТПСМ) на основе микроморфной технологии влияет на качество лазерного скрайбирования Р1 (P1 – скрайбирование во фронтальном слое ППО). Предложен метод улучшения неоднородности толщины фронтального ППО путем модификации существующей системы подачи газов вакуумной установки LPCVD (ТСО1200) с использованием газораспределительных трубок. Неравномерность осаждения по толщине снижена с 15.2 до 11.4%, что улучшило неравномерности по сопротивлению фронтального ППО и светорассеивающего фактора ТПСМ. Помимо этого, в 7 раз уменьшилось количество лазерных скрайбов Р1 с недопустимым значением сопротивления изоляции (менее 2 M$\Omega$), снизилось количество объемов расплавов по краям скрайба Р1, что привело к увеличению шунтирующего сопротивления ТПСМ на 56 $\Omega$. Улучшение параметров фронтального ППО с применением метода газораспределительных труб увеличило выходную мощность ТПСМ на 0.4 W.