Аннотация:
Представлены результаты исследования структуры и диэлектрических характеристик тонких пленок ниобата бария–стронция, осажденных на монокристаллические подложки кремния без каких-либо буферных слоев. Установлено, что гетероструктуры обладают преимущественным направлением оси c перпендикулярно подложки, а оси $a$ и $b$ стохастически развернуты в плоскости положки. Изучена релаксация поляризации в подобных гетероструктурах. Показано, что методом ВЧ катодного распыления возможно получение интерфейса пленка–подложка высокого качества без заметного количества долгоживущих заряженных дефектов.
Поступила в редакцию: 01.03.2017 Исправленный вариант: 11.09.2017