Аннотация:
Рассмотрен вопрос о корректности известного метода плоского одностороннего зонда для измерения анизотропных функций распределения ионов в газоразрядной плазме. Исследование проведено при положительных относительно плазмы потенциалах зонда по величине порядка средней энергии ионов, которая, как правило, много меньше средней энергии электронов. Проанализирована зависимость собирающей поверхности плоского зонда от его потенциала в указанной области значений. Для изотропной функции распределения электронов типа максвелловской и дрювистейновской и анизотропной функции распределения ионов найдена структура призондового слоя. С использованием этих результатов получены аналитические соотношения для поправки ко второй производной зондового тока по потенциалу плоского зонда. Показано, что при измерении функции распределения ионов в широком диапазоне условий в газоразрядной плазме, когда применимо приближение бесстолкновительного зондового слоя, а зонд не возмущает плазму, зависимостью собирающей поверхности зонда от потенциала в указанном диапазоне можно пренебречь.