А. В. Тумаркин, С. В. Разумов, В. А. Вольпяс, А. Г. Гагарин, А. А. Одинец, М. В. Злыгостов, Е. Н. Сапего, “Термостабильные сегнетоэлектрические конденсаторы на основе градиентных пленок титаната бария-стронция”, ЖТФ, 2017, том 87, выпуск 10,страницы 1585

Эта публикация цитируется в 5 статьях

Физическая электроника

Термостабильные сегнетоэлектрические конденсаторы на основе градиентных пленок титаната бария-стронция

А. В. Тумаркин^ab, С. В. Разумов^a, В. А. Вольпяс^a, А. Г. Гагарин^a, А. А. Одинец^a, М. В. Злыгостов^a, Е. Н. Сапего^a

^a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
^b Дагестанский государственный университет, г. Махачкала

Аннотация: Экспериментально исследовано влияние давления рабочего газа в процессе ионно-плазменного распыления на свойства осаждаемых сегнетоэлектрических покрытий титаната бария-стронция. Варьирование давления рабочего газа в процессе осаждения позволяет менять компонентный состав осаждаемого слоя, что приводит к размытию фазового перехода и улучшению температурной стабильности свойств сегнетоэлектрической пленки. Последовательность расположения слоев влияет на температуру максимума диэлектрической проницаемости, форму зависимости емкости от температуры и вольт-фарадные характеристики конденсаторных структур.

Поступила в редакцию: 17.01.2017

DOI: 10.21883/JTF.2017.10.45005.2168