Акустические свойства слоистой структуры пьезоэлектрическая пленка ZnO на кремнии

В. И. Анисимкин, И. М. Котелянский, В. А. Осипенко

Институт радиотехники и электроники АН СССР, Москва

УДК: 537.227

Поступила в редакцию: 05.08.1985

Реферативные базы данных:

•