Коротковолновый дифференциальный фотоприемник на основе кремния

Описан фотоприeмник на основе кремния, содержащий два одинаковых по площади $n^{+}$–$p$-фотодиода. Один из фотодиодов имел широкую спектральную характеристику с высокой чувствительностью в ультрафиолетовой области. Чувствительность второго была снижена в коротковолновой части спектра путем создания дополнительных рекомбинационных центров в приповерхностной области методом имплантации ионов As. Исследование спектральной чувствительности дифференциального сигнала, полученного вычитанием фототоков, установило ярко выраженную коротковолновую спектральную характеристику. Границы спектрального диапазона по уровню $\lambda_{0.5}$ находились в пределах 0.27–0.44 $\mu$m. Максимум чувствительности соответствовал $\lambda_{\operatorname{max}}$ = 0.36 $\mu$m. Чувствительность дифференциального канала на этой длине волны достигала 83% от чувствительности широкодиапазонного канала.