Аналитические критерии управления азотированием в тлеющем разряде

На основе энергетических представлений о процессе азотирования в тлеющем разряде предложена система аналитических характеристик для оценки результативности технологии. Учтено параллельное протекание основных субпроцессов, формирующих модифицированный поверхностный слой: образование нитридных структур, диффузия азота в глубину металла и распыление поверхности.