Численное моделирование процесса абляции тонких пленок молибдена под действием лазерного излучения

Представлены результаты численного моделирования процесса воздействия лазерного излучения на пленку молибдена, нанесенную на кварцевую подложку. Результаты моделирования подтвердили экспериментально обнаруженный эффект трехкратного уменьшения размера зоны абляции по сравнению с размером фокального пятна. Средствами вычислительного эксперимента подтверждена гипотеза о двухэтапности процесса абляции металлической пленки с первоначальным образованием оксидной фазы. Доказано, что окисление приводит к избирательному снижению термического сопротивления пленки в вертикальном направлении, в результате чего усиливается анизотропный характер процесса абляции.