Анализ дислокационной структуры в монокристаллах германия на основе данных мультифизического моделирования

Получение высококачественных кристаллов германия является одной из важнейших задач ростовой промышленности. Важным параметром качества монокристаллов является величина плотности дислокаций. Представлены экспериментальные данные по плотности дислокаций в кристаллах германия диаметром 100 mm различной формы боковой поверхности, выращенные по методу Чохральского. Получены результаты численного моделирования роста кристаллов с использованием моделей теплообмена, гидродинамики и модели дислокаций Александера–Хаасена в программе CGSim. Сравнение экспериментальной и расчетной величины плотности дислокаций показало пригодность модели дислокаций для изучения дефектов структуры кристаллов германия и повышения их качества.