Канал протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя

Описана конструкция канала протонно-лучевой литографии как продолжение канала ядерного сканирующего микрозонда. Решена проблема точности позиционирования зонда путем создания новой высокочастотной электростатической сканирующей системы. Особое внимание уделено задаче по созданию зондоформирующей системы, рассмотрены различные ее конфигурации. На основании решения оптимизационной задачи по формированию пучка протонов найдена зондоформирующая система, которая наилучшим образом отвечает требованиям для проведения литографического процесса. Разработана система управления сканированием пучка, основанная на применении многофункционального модуля интегральных схем программируемой логики.