Аннотация:
По результатам измерения емкости сегнетоэлектрических планарных конденсаторов проведен расчет величины диэлектрической проницаемости наноразмерных пленок титаната бария-стронция. Приведено выражение для подгоночного коэффициента, позволяющего получить адекватные значения величины диэлектрической проницаемости сегнетоэлектрических пленок толщиной 20 nm. Указаны пределы применимости полученного подгоночного коэффициента.