Возможности структурной инженерии в многослойных вакуумно-дуговых ZrN/CrN-покрытиях путем изменения толщины нанослоев и подачи потенциала смещения

Установлена возможность достижения сверхтвердого состояния в многослойных вакуумно-дуговых покрытиях ZrN/CrN c толщиной слоев около 20 nm. Показано, что использование для структурной инженерии постоянного отрицательного потенциала при осаждении приводит к формированию твердых растворов из-за межграничного перемешивания. Твердость таких систем не превышает 30 GPa. Использование импульсного высоковольтного потенциала смещения при котором наблюдается упорядочение атомов, стимулированное повышенной подвижностью, позволяет уменьшить межграничное перемешивание и достичь эффект повышенной твердости (до 42 GPa) при нанометровых толщинах слоев.