Особенности процесса воздействия лазерного излучения на тонкие пленки молибдена

Проведены исследования процесса воздействия лазерного излучения на пленки молибдена толщиной менее 100 nm. Представлены экспериментальные доказательства гипотезы, согласно которой пленки тугоплавких металлов способны подвергаться абляции при воздействии лазерного излучения за счет образования промежуточной оксидной фазы. Объяснен эффект трехкратного уменьшения ширины зоны абляции при воздействии сканирующего лазерного излучения.