А. А. Лебедев, С. П. Лебедев, С. Н. Новиков, В. Ю. Давыдов, А. Н. Смирнов, Д. П. Литвин, Ю. Н. Макаров, В. С. Левицкий, “Сверхчувствительный газовый сенсор на основе графена”, ЖТФ, 2016, том 86, выпуск 3,страницы 135

Эта публикация цитируется в 16 статьях

Физические приборы и методы эксперимента

Сверхчувствительный газовый сенсор на основе графена

А. А. Лебедев^ab, С. П. Лебедев^ab, С. Н. Новиков^c, В. Ю. Давыдов^a, А. Н. Смирнов^ab, Д. П. Литвин^ad, Ю. Н. Макаров^d, В. С. Левицкий^a

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
^c Aalto University, Finland
^d ГК "Нитридные кристаллы", С.-Петербург

Аннотация: Эпитаксиальные слои графена получены термодеструкцией поверхности полуизолирующей подложки SiC. Проведено исследование однородности плeнки методами рамановской спектроскопии и атомно-силовой микроскопии. На основе полученных плeнок изготовлен прототип газового сенсора. Показана чувствительность данного прибора к концентрации молекул NO$_{2}$ на уровне не хуже 5 ppb (одна частица на миллиард). Сделан вывод о возможности промышленного использования разработанного прибора.

Поступила в редакцию: 02.09.2015