Токовое управление профилем толщины и «токовое раскисление»слоев (AlGa)As, выращенных в канавках

Сообщается о развитии метода селективной безмасочной электрожидкостной эпитаксии (СБЭЖЭ) твердых растворов арсенид галлия–арсенид алюминия. Показано, что локальное пропускание постоянного электрического тока обеспечивает режим управления профилем толщины слоев, выращенных в канавках. Проводится сравнение различных вариантов электрической изоляции, используемой при СБЭЖЭ. Сообщается об эффекте «токового раскисления» и его использовании при заращивании окисленных слоев Al$_{0.5}$Ga$_{0.5}$As методом СБЭЖЭ.