RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2024, том 94, выпуск 2, страницы 328–334 (Mi jtf6720)

Физические приборы и методы эксперимента

Физический механизм работы вакуумного датчика Пирани в режиме стабилизации температуры

Е. В. Рутьковa, О. А. Беляеваb, Н. А. Беликb, Е. Ю. Афанасьеваa, Д. Б. Салинc, Н. Р. Галльa

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b ТЕХНАН, 199155 Санкт-Петербург, Россия
c Современные вакуумные системы, 194223 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Проведено экспериментальное изучение процессов на поверхности металлического нагревателя (нити), определяющих физический механизм работы вакуумного датчика типа Пирани в широком интервале давлений 1000 – 10$^{-3}$ mbar для основных компонент воздуха: азота и кислорода. Показано, что в режиме стабилизации постоянной температуры нагревателя механизм отвода тепла газом с поверхности существенно меняется при изменении давления. При $p$ = 10$^{-3}$–10$^{-1}$ mbar тепло отводится молекулами, адсорбирующимися на поверхности поверх слоя хемосорбированных атомов азота или кислорода. При больших давлениях молекулярный слой оказывается практически полностью заполнен, и дополнительный отвод тепла осуществляется молекулами адсорбирующимися во второй (физадсорбционный) слой; при этом эффективность отвода тепла резко уменьшается, почти в 1000 раз в расчете на одну молекулу.

Ключевые слова: измерение вакуума, датчик Пирани, вольфрам, азот, молекулярная хемосорбция, термическая десорбция.

Поступила в редакцию: 23.10.2023
Исправленный вариант: 28.11.2023
Принята в печать: 14.12.2023

DOI: 10.61011/JTF.2024.02.57090.269-23



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025