Лазер-стимулированная металл-индуцированная кристаллизация кремниевых покрытий на пленочных и нановолокнистых полимерных подложках

Представлены результаты по получению нанокристаллических кремниевых покрытий на гибких полимерных подложках различной природы. Покрытия получены путем лазер-стимулированной металл-индуцированной кристаллизации. Показана возможность получения с помощью данной методики полностью кристаллизованных кремниевых пленок на площади 30 $\times$ 30 $\mu$m на пленочной полиимидной подложке. Продемонстрирована применимость используемой методики на нановолокнистой полимерной подложке, полученной методом электроформования из раствора. Проведена работа по оптимизации режима лазерной обработки, определен диапазон значений лазерного флюенса, использование которого ведет к кристаллизации кремния с минимальными повреждениями нановолокнистых подложек. Оценка степени повреждения подложек проведена с помощью сканирующей электронной микроскопии. Приведены результаты экспериментальных исследований, подтверждающие формирование кристаллизованных кремниевых покрытий на нановолокнистых полимерных подложках.