RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2024, том 94, выпуск 3, страницы 497–506 (Mi jtf6742)

XI Международный симпозиум ''Оптика и биофотоника'' (Saratov Fall Meeting 2023), Саратов, 25-29 сентября 2023 г.
Физическая электроника

Лазер-стимулированная металл-индуцированная кристаллизация кремниевых покрытий на пленочных и нановолокнистых полимерных подложках

А. А. Сердобинцев, А. М. Карташова, П. А. Демина, Л. Д. Волковойнова, И. О. Кожевников, В. В. Галушка

Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского, 410012 Саратов, Россия

Аннотация: Представлены результаты по получению нанокристаллических кремниевых покрытий на гибких полимерных подложках различной природы. Покрытия получены путем лазер-стимулированной металл-индуцированной кристаллизации. Показана возможность получения с помощью данной методики полностью кристаллизованных кремниевых пленок на площади 30 $\times$ 30 $\mu$m на пленочной полиимидной подложке. Продемонстрирована применимость используемой методики на нановолокнистой полимерной подложке, полученной методом электроформования из раствора. Проведена работа по оптимизации режима лазерной обработки, определен диапазон значений лазерного флюенса, использование которого ведет к кристаллизации кремния с минимальными повреждениями нановолокнистых подложек. Оценка степени повреждения подложек проведена с помощью сканирующей электронной микроскопии. Приведены результаты экспериментальных исследований, подтверждающие формирование кристаллизованных кремниевых покрытий на нановолокнистых полимерных подложках.

Ключевые слова: гибкая электроника, металл-индуцированная кристаллизация кремния, индуцированная лазером кристаллизация кремния, инфракрасный лазер, нановолокнистые нетканые материалы.

Поступила в редакцию: 16.01.2023
Исправленный вариант: 16.01.2023
Принята в печать: 16.01.2023

DOI: 10.61011/JTF.2024.03.57390.319-23



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025