Аннотация:
Изучены характеристики модели высокочастотного индуктивного катода-нейтрализатора, работающего на аргоне и его смеси с воздухом, при изменении конструктивных параметров устройства – диаметра выходного отверстия и площади коллектора ионов. Экспериментально показано, что наибольший ток электронов удается получить с отверстием диаметром 2.2 mm и коллектором ионов наибольшей площади. При условии, что напряжение между коллектором ионов и анодом составляет величину менее 100 V, при всех рассмотренных условиях наблюдается слабое падение концентрации электронов по сравнению с чисто индуктивным разрядом в катоде, в то же время ток электронов на анод сильно возрастает. Интерпретация полученных результатов выполнена в предположении, что разряд между катодом и анодом является комбинацией индуктивного высокочастотного разряда и разряда постоянного тока.
Ключевые слова:катод-нейтрализатор, индуктивный высокочастотный разряд, плазма, ионы, ток электронов.
Поступила в редакцию: 22.11.2023 Исправленный вариант: 10.01.2024 Принята в печать: 14.01.2024