Влияние электрического поля на скорость гидрогенизации графена в индукционно-связанной плазме

Представлены результаты экспериментов по обработке монослойного графена в индукционно-связанной водородсодержащей плазме низкого давления. Изучено влияние электрического поля на степень гидрогенизации образцов. Проведено сравнение комбинационных спектров рассеяния образцов до и после плазменной обработки при различных значениях напряжения на образце относительно заземленной камеры. Предложен способ измерения проводящих свойств образцов во время плазменной обработки. Данные параметры графена были измерены в зависимости от времени плазменной обработки при разных значениях напряжения на образце. Высказано предположение о том, что в ходе плазменной обработки основными частицами, которые могут вступать в реакцию с графеном, являются положительные ионы водорода.