RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Журнал технической физики
// Архив
ЖТФ,
1986
, том 56,
выпуск 2,
страницы
400–403
(Mi jtf68)
Краткие сообщения
Радиационно-стимулированная диффузия при ионном травлении
А. Н. Проценко
,
Э. Ф. Чайковский
УДК:
533.9 : Ш.1
Поступила в редакцию:
11.03.1985
Полный текст:
PDF файл (494 kB)
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2025