RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2024, том 94, выпуск 7, страницы 1015–1021 (Mi jtf6801)

XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Плазма

Газовые мишени для точечного источника вакуумного и экстремального ультрафиолетового излучения, поддерживаемого сфокусированным электромагнитным излучением

А. В. Сидоров, А. П. Веселов, А. В. Водопьянов, А. А. Мурзанев, А. Н. Степанов

Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Проведено экспериментальное исследование различных газовых мишеней для источника точечной плазмы на основе разряда в неоднородном потоке газа. В результате проведенных экспериментов удалось пронаблюдать структуры напускаемых струй для различных мишеней с разными отверстиями напуска газа. Продемонстрировано, что при существенном снижении давления фонового газа происходит практический развал струи и газ напускается равномерно во всех направлениях.

Ключевые слова: разряд в неоднородном потоке газа, экстремальное ультрафиолетовое излучение, интерферометрия газовой струи.

Поступила в редакцию: 23.04.2024
Исправленный вариант: 23.04.2024
Принята в печать: 23.04.2024

DOI: 10.61011/TP.2024.07.58796.135-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025